Limited Facilities, Unlimited Ideas

设备有限, 思维无限


Check out how to operate the QTL setups!

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固态量子材料与器件(QTL)课题组设备欢迎您的使用。

使用流程:
1 下载阅读要使用的设备操作手册
2 联系SuperUser预约培训
3 培训合格后在线实名预约

预约系统需实名注册。杜绝预约不使用、或使用不预约。

注意: 设备损坏及时汇报。

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Home-designed vdW Annealer

自研,真空钨灯快速退火装置。温度范围30-400 摄氏度。真空度10^-6 mbar。
SuperUser 管理员:王汉文

点击这里下载《Annealer 操作手册》
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Atomic Probe Microscope

美国布鲁克 Bruker Icon系列,原子探针显微镜。AFM形貌(Tapping,Contact,Friction Force等模式)、PFM压电、KPFM电势、CFM导电等模块。
SuperUser 管理员:李小茜

点击这里下载《AFM 操作手册》
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Nikon Optical Microscope

日本尼康LV-ND100 光学显微镜。最高物镜倍率 100X。CCD像素500万。

《操作手册》 完善中。。。

vdW Transfer Stage

改装自Cascade Test Probe, 范德华堆垛平台。温度范围30-200 摄氏度。转角精度2度,位移精度5um。
SuperUser 管理员:王志

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Other Fab

其它用于微纳制备的,如Spin Coater旋涂等。

《操作手册》 完善中。。。

Electrical Test

改装自Cascade Test Probe,室温电学四探针测试系统。四探针测试、Labview数据采集,chuck可加偏压。温度范围30-200 摄氏度。
SuperUser 管理员:李小茜

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PPMS Extention

自研,PPMS 16针外接电学测试系统。 最多16针脚,Labview数据采集,温度、磁场范围取决于PPMS系统。
SuperUser 管理员:韩拯

《操作手册》 完善中。。。

Wire Bonder

美国WestBond金丝楔焊微连线机。金丝直径25 um。力25g左右。
SuperUser 管理员:孙兴丹

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e-Beam Lithography

电子束曝光纳米加工系统。 蔡司Sigma300 冷场发射扫描电镜,纳米加工精度20 nm,写场大小20 mm,6孔可调光阑,Raith Elphy Quanta 图形化系统。
SuperUser 管理员:李小茜

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Electronic vdW stacker in Glove Box

惰性气氛中全电动低维材料异质结堆叠平台。XYZ100nm精度fine positioning, 光学显微镜Z轴定位,样品台XY定位,远程控制真空吸附载物台。
SuperUser 管理员:夏秀鑫

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Thermal Evaporator

热蒸发镀膜系统。 自研,3种靶材,样品台水冷旋转,气动升降舱门,工业摄像头实时监控腔体蒸发情况,真空度1E-6 mbar。
SuperUser 管理员:王雅宁

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vdW Transfer Stage 2

电动、手动双模转印vdW stack。手动转角控制。
SuperUser 管理员:王雅宁

点击这里下载《vdW Transfer Stage 2 操作手册》
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When first using QTL facilities, please read the ``Newcomer's Guide" carefully!




在任何实验操作之前,

请仔细阅读《新生须知》!

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